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渦輪分子泵系統操作注意事項及常見故障排除
  • 釋出日期☁✘↟:2022-10-25      瀏覽次數☁✘↟:282
    • 渦輪分子泵系統操作注意事項及常見故障排除 

      檢碩科學器材(上海)有限公司

      渦輪分子泵系統的操作注意事項

      (1) 不能在前級泵工作時(前級管道接通) 和真空室處於真空狀態時將渦輪分子泵停掉•▩│▩,否則將會使油蒸汽迅速從前級管路返流到泵的清潔端•✘☁。

      (2) 分子泵系統在停機充乾燥氣體前•▩│▩,一定要先將分子泵冷卻水關閉•▩│▩,且要從泵的高真空端充氣•✘☁。決不能從泵的前級管路進行充氣•✘☁。

      (3)選擇抽氣系統前級泵的大小時•▩│▩,應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態下•✘☁。

      (4)不能讓渦輪分子泵在低於額定工作轉速下運轉•✘☁。

      (5)分子泵入口應裝設防護網•▩│▩,以避免異物進入泵內損壞泵轉子和定子葉片•✘☁。

      渦輪分子泵系統常見故障及排除

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