渦輪分子泵系統操作注意事項及常見故障排除 

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渦輪分子泵系統的操作注意事項

（1） 不能在前級泵工作時（前級管道接通） 和真空室處於真空狀態時將渦輪分子泵停掉☁✘│✘，否則將會使油蒸汽迅速從前級管路返流到泵的清潔端✘▩₪。

（2） 分子泵系統在停機充乾燥氣體前☁✘│✘，一定要先將分子泵冷卻水關閉☁✘│✘，且要從泵的高真空端充氣✘▩₪。決不能從泵的前級管路進行充氣✘▩₪。

（3）選擇抽氣系統前級泵的大小時☁✘│✘，應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態下✘▩₪。

（4）不能讓渦輪分子泵在低於額定工作轉速下運轉✘▩₪。

（5）分子泵入口應裝設防護網☁✘│✘，以避免異物進入泵內損壞泵轉子和定子葉片✘▩₪。

渦輪分子泵系統常見故障及排除

渦輪分子泵抽氣系統的常見故障及排除方法

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